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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0335327 (1994-11-07) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 47 인용 특허 : 63 |
In one aspect, foreign material on the surface of a substrate is processed to form a reaction product by: providing a directed flow of a fluid, comprising a reactant, to the vicinity of the foreign material to be processed; and delivering an aerosol of at least partially frozen particles continuousl
[ What is claimed is:] [1.] A method for processing foreign material on the surface of a substrate comprising the steps ofat any given time, providing from a first source a directed flow of a fluid, comprising a reactant, only to foreign material in a limited area reaction region corresponding to a
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