$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Thin-film switching device having chlorine-containing active region and methods of fabrication therefor

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-029/78
출원번호 US-0858974 (1997-05-20)
우선권정보 KR-0018083 (1996-05-28)
발명자 / 주소
  • Jang Jin,KRX
  • Lee Keun-soo,KRX
  • Choi Jong-hyun,KRX
출원인 / 주소
  • Samsung Electronics Co., Ltd., KRX
대리인 / 주소
    Myers Bigel Sibley & Sajovec
인용정보 피인용 횟수 : 0  인용 특허 : 5

초록

A thin-film switching device includes an active region including noncrystalline silicon, e.g., hydrogenated amorphous silicon, which includes chlorine distributed in a manner which produces a predetermined photoconductivity and a predetermined field-effect mobility in the active region. Preferably,

대표청구항

[ That which is claimed is:] [14.] A method of fabricating an active region for a thin-film switching device, the method comprising the step of:forming a noncrystalline silicon active region including chlorine that is nonuniformly vertically distributed in a manner which produces a photoconductivity

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Carlson David E. (Yardley PA), Article and device having an amorphous silicon containing a halogen and method of fabrication.
  2. Awano Yuji (Tokyo JPX), Complementary semiconductor device.
  3. Saitoh Keishi (Nagahama JPX) Aoike Tatsuyuki (Nagahama JPX) Sano Masafumi (Nagahama JPX) Niwa Mitsuyuki (Nagahama JPX) Matsuyama Jinsho (Nagahama JPX) Kariya Toshimitsu (Nagahama JPX) Kouda Yuzou (Na, Photovoltaic device and a forming method thereof.
  4. Stern Donald J. (Bellingham WA) Tryon James A. (Seattle WA), Spray texturing device.
  5. Muto Ryujiro (Fujisawa JPX), Thin film transistor, method of repairing the thin film transistor and display apparatus having the thin film transistor.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트