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Vacuum pump control system 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F04B-041/06
출원번호 US-0858622 (1997-05-19)
우선권정보 JP-0149931 (1996-05-21)
발명자 / 주소
  • Noji Nobuharu,JPX
  • Kido Koichi,JPX
출원인 / 주소
  • Ebara Corporation, JPX
대리인 / 주소
    Armstrong, Westerman, Hattori, McLeland & Naughton
인용정보 피인용 횟수 : 18  인용 특허 : 9

초록 ▼

A vacuum pump control system is used for controlling a plurality of vacuum pumps comprising at least one type of cryopump, turbomolecular pump, cryoturbo pump, and dry pump such as a Roots type vacuum pump. The vacuum pump control system for controlling a plurality of vacuum pumps, comprises a host

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A vacuum pump control system for controlling a plurality of vacuum pumps, comprising:a host computer;a plurality of vacuum pump controllers connected respectively to said vacuum pumps; anda network control unit for transmitting information between said host computer and s

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Sugiyama Akiyoshi (Fuji JPX) Inoue Tsunetoshi (Fuji JPX) Hasegawa Norihisa (Fuji JPX), Air conditioner apparatus with starting control for parallel operated compressors based on high pressure detection.
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  2. Bartlett Allen J. (Milford MA) Yamartino Stephen J. (Wayland MA), Cryopump with electronically controlled regeneration.
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  3. Gaudet Peter W. (Chelmsford MA) Olsen Donald A. (Millis MA) Eacobacci Michael J. (Randolph MA) Harvell John T. (Sudbury MA) Lepofsky Robert J. (Wellesley MA) Roche David E. (Nashua NH) Bender Steven , Electronically controlled cryopump.
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  4. Gaudet Peter W. (Chelmsford MA) Olsen Donald A. (Millis MA) Eacobacci Michael J. (Randolph MA) Harvell John T. (Sudbury MA) Lepofsky Robert J. (Wellesley MA) Roche David E. (Nashua NH) Bender Steven , Electronically controlled cryopump.
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  5. Grudowski Raymond A. (South Euclid OH) Engdahl Jonathan R. (Maple Heights OH), Industrial communications network with mastership determined by need.
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  6. Herndon Charles C. (Forest VA) Martin John R. (Lynchburg VA) Nickel Rodney L. (Lynchburg VA) Schwed Daniel I. (Lynchburg VA) Vignali Claude L. (Forest VA), Local area network for flexible digital communications within and between RF base stations.
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  7. Okumura Katsuya ; Mikata Yuuichi,JPX ; Tsujimura Manabu,JPX ; Ando Yoshio,JPX, Method and apparatus for evacuating vacuum system.
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  8. Piltingsrud Harley V. (Cincinnati OH), Miniature cryosorption vacuum pump.
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  9. Makel Darby B. (Sacramento CA) Jansa Earl D. (Shingle Springs CA) Cahill Daniel V. (Fair Oaks CA) Bickmore Timothy W. (Sacramento CA), Remotely controllable LNG field station management system and method.
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이 특허를 인용한 특허 (18)

  1. Bernard, Roland; Chevalier, Eric; Sogan, Gloria, Apparatus for conditioning the atmosphere in a vacuum chamber.
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  2. Stellnert, Mats; Sjölund, Martin, Controllable vacuum source.
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  3. Gehm William ; Gehm Lanny, Fluid pump speed controller.
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  4. Dresens, Paul E.; Ash, Gary S.; Bartlett, Allen J.; Andeen, Bruce R.; Than, Y. Roberto; Chopy, Jr., Joseph, Helium management control system.
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  5. Dresens, Paul E.; Ash, Gary S.; Bartlett, Allen J.; Andeen, Bruce; Than, Y. Roberto; Chopy, Jr., Joseph, Helium management control system.
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  6. Dresens, Paul E.; Ash, Gary S.; Bartlett, Allen J.; Andeen, Bruce; Than, Y. Roberto; Chopy, Jr., Joseph, Helium management control system.
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  7. Dresens, Paul E.; Ash, Gary S.; Bartlett, Allen J.; Andeen, Bruce; Than, Y. Roberto; Chopy, Jr., Joseph, Helium management control system.
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  8. Amundsen, Paul E.; Buonpane, Maureen C.; Andrews, Douglas; Jacobs, Jordan, Integration of automated cryopump safety purge.
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  9. Joo, Young-Byeong, Ion implanting system.
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  10. Baltussen, Sander, Method and arrangement for realizing a vacuum in a vacuum chamber.
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  11. Baltussen, Sander, Method and system for realizing a vacuum in a vacuum chamber.
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  12. Kazuhiko Yamauchi JP, Method of and apparatus for controlling vacuum pump.
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  13. Miura Atsuyuki,JPX ; Taniguchi Hiroya,JPX, Multistage vacuum pump unit.
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  14. Curry, Mark William; Greenbank, Daniel Paul; Lu, Danny Cam Toan, Speed control of variable speed pump.
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  15. Ehlert, Hilmar, Suction pump system.
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  16. Claude Rousseau FR; Patrick Pilotti FR; Philippe Maquin FR, System for regulating pressure in a vacuum chamber, vacuum pumping unit equipped with same.
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  17. Jankins Daniel ; Varone John, Vacuum network controller.
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  18. Curry, Mark William; Greenbank, Daniel Paul; Lu, Danny Cam Toan, Variable speed pump control.
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