[특허]Method and apparatus for monitoring generation of liquid chemical vapor

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Method and apparatus for monitoring generation of liquid chemical vapor 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-016/00
출원번호	US-0922510 (1997-09-03)
발명자 / 주소	Schmitt John Vincent
출원인 / 주소	Applied Materials, Inc.
대리인 / 주소	Konrad Raynes & Victor
인용정보	피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 4

초록 ▼

In a method and apparatus for producing a vapor containing a liquid chemical by bubbling a carrier gas through a mass of the liquid chemical, vapor production is monitored by: determining successive values of the pressure of the carrier gas being delivered to the mass of liquid chemical, over a time period; and calculating, on the basis of the successive values of the pressure, the frequency of bubble formation during the bubbling of the carrier gas.

대표청구항 ▼

[ I claim:] [1.] In a method for producing a vapor by bubbling a carrier gas through a mass of liquid, the improvement comprising:determining successive values of said pressure of said carrier gas being delivered to said mass of liquid over a time period; andcalculating the mass flow rate of said vapor from said mass of liquid, based on the successive values of said pressure of said carrier gas determined in said determining step.

이 특허에 인용된 특허 (4)

Nicolai, Walter, Determining and indicating the quantity of a stored material.
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Lehmann Martin (Obere Farnbuhlstr. 1 5610 Wohlen CHX), Method of and apparatus for checking the volume of containers.
상세보기
Lehmann Martin,CHX, Method of and apparatus for checking the volume of containers.
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McMenamin Joseph C. (Fresno CA), Vapor mass flow control system.
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이 특허를 인용한 특허 (9)

Scholz,Christoph, Apparatus and process for refilling a bubbler.
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Daubs Maurice E. ; Murphy ; Jr. James H., High pressure quartz glass bubbler ampoule and assembly.
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Ravetz, Megan; Williams, Graham; Nelson, Andrew; Blunt, Roy Trevor; Williams, Howard; Odedra, Rajesh, Method and apparatus for delivering precursors to a plurality of epitaxial reactor sites.
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Nguyen Son T. ; Hendrickson Scott, Method and apparatus for generating controlled mixture of organic vapor and inert gas.
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Lee,Jai Dong; Hwang,Ki Hyun; Ko,Chang Hyun, Method and apparatus for supplying a source gas.
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Schmitt, John Vincent; Li, Shih-Hung; Marcadal, Christophe; Chang, Anzhong; Chen, Ling, Methods and apparatus for improved vaporization of deposition material in a substrate processing system.
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Forrest, Stephen R., Organic vapor jet printing system.
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Hattori, Nozomu, Raw material supply device.
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Rodgers, Donald B., System, apparatus and method for measuring and transferring the contents of a vessel.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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