최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0853347 (1997-05-08) |
우선권정보 | JP-0116204 (1996-05-10) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 67 인용 특허 : 6 |
A fluid control device has formed in a valve main body a main channel communicating with an inlet of a channel within a massflow controller, and a relatively long subchannel and a relatively short subchannel both communicating with the main channel. The process gas to be assure of high purity is pas
[ What is claimed is:] [1.] A method for operating a fluid control device for alternatively passing one of three fluids of varying degrees of purity to be assured to a channel in a controller for regulating pressure or flow rate of fluids, said fluid control device including a valve main body having
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.