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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0928553 (1997-09-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 10 |
A storage device containing a quantity of a liquid chemical substance which is used as a reactant in a chemical process, the device being composed of: a closed container holding the quantity of substance and having a wall provided with an inlet opening and an outlet opening; an inlet valve coupled t
[ What is claimed is:] [15.] In a method for performing a chemical process in a semiconductor manufacturing system having first and second coupling parts for mating with a liquid chemical storage device for containing a quantity of a liquid chemical substance which is used as a reactant in said chem
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