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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0780502 (1997-01-08) |
우선권정보 | JP-0005400 (1996-01-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 7 |
A cleaning solution and cleaning method are provided which: (1) make treatment at room temperature possible, and do not require heating, (2) use little chemicals and water, (3) do not require specialized apparatuses, and moreover, (4) do not require the use of specialized chemicals. The cleaning sol
[ What is claimed is:] [1.] A cleaning solution, comprising pure water containing 20 ppb-100 ppb of oxygen and 2 ppb or more of nitrogen, said pure water having impurities present at a level of 10 ppb or less.
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