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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0018456 (1998-02-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 46 인용 특허 : 9 |
An apparatus and method are disclosed for optically sensing motion in a microelectromechanical system (also termed a MEMS device) formed by surface micromachining or LIGA. The apparatus operates by reflecting or scattering a light beam off a corrugated surface (e.g. gear teeth or a reference feature
[ What is claimed is:] [1.] Optical apparatus for sensing motion of a moveable member in a microelectromechanical system formed on a substrate, comprising:(a) source means located proximate to the microelectromechanical system for generating light and directing the light to intercept a corrugated po
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