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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) | B29C-043/56 |
미국특허분류(USC) | 425/405.1 ; 425/385 ; 425/812 ; 425/DIG.60 |
출원번호 | US-0954714 (1997-10-20) |
우선권정보 | DE-0048844 (1996-11-26) |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 | |
대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 9 |
The apparatus and process to compensate for variations in thickness of molding tools and of moldable materials used in an embossing process to be carried out under a vacuum, while ensuring high dimensional stability, and to ensure different molding depths. For achieving this object, a chamber is employed having a pair of oppositely lying chamber parts, of which one is fixed to the framework and the other is adjustable, having side walls which comprise an inner part and an outer part. The inner part is fastened to the fixed chamber part and the outer part...
[ What is claimed is:] [1.] In an apparatus for molding microsystem structures having a pair of oppositely lying chamber parts of a closable chamber, which serve as carriers for receiving an embossing tool and a moldable material, and of which one chamber part is fixed to a frame and the other is guided adjustably in said frame, an improvement comprising that:said chamber has side walls which are separated into an inner wall part and an outer wall part,said inner wall part and said outer wall part both being supported by said fixed chamber part;said oute...