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Temperature coefficient of offset adjusted semiconductor device and method thereof 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/00
출원번호 US-0927150 (1997-09-03)
발명자 / 주소
  • Bitko Gordon D.
  • McNeil Andrew C.
  • Monk David J.
출원인 / 주소
  • Motorola, Inc.
대리인 / 주소
    Chen
인용정보 피인용 횟수 : 20  인용 특허 : 12

초록

A non-zero temperature coefficient of offset (Tco) in a semiconductor device (5) is adjusted by reducing the amount of adhesive material used to secure a first structure to a second structure. An adhesive layer (14) used to secure a sensor die (11) to a constraint die (12) in a pressure sensor appli

대표청구항

[ We claim:] [1.] A method for adjusting a non-zero temperature coefficient of offset in a sensor having a sensor die, a base die having a mounting surface, and an adhesive layer securing the sensor die to the mounting surface of the base die, the method comprising the step of:forming the adhesive l

이 특허에 인용된 특허 (12)

  1. Ko Wen H. (Cleveland Hts. OH), Capacitive absolute pressure sensor and method.
  2. Kurtz Anthony D. (Englewood NJ) Mallon Joseph R. (Franklin Lakes NJ), Compensation and normalization apparatus for shear piezoresistive gage sensors.
  3. Zanini-Fisher Margherita (Bloomfield MI) Parsons Michael H. (Ann Arbor MI) Sooriakumar Kathirgamasundaram (Dearborn Heights MI) Haeberle Russell J. (Plymouth MI) McCarthy Shaun L. (Ann Arbor MI), Fabrication methods for silicon/glass capacitive absolute pressure sensors.
  4. Brown Clem H. (Scottsdale AZ) Wallace ; Jr. Daniel J. (Phoenix AZ) Velez Mario F. (Phoenix AZ), Hermetically sealed pressure sensor and method thereof.
  5. Maudie Theresa A. ; Monk David J. ; Savage Timothy S., Media compatible microsensor structure and methods of manufacturing and using the same.
  6. Sooriakumar Kathirgamasundaram ; McNeil Andrew C. ; Goldman Kenneth G. ; Shah Mahesh K., Method for making a sculptured diaphragm.
  7. Mrozack ; Jr. James (Highland Park IL) Greenstein Bernard (Glenview IL), Pressure sensor assembly.
  8. Jakobsen Henrik (Horten NOX) Kvistery Terje (Horten NOX), Sealed cavity arrangement method.
  9. Fossum Steven C. (Hopkins MN) Sedivy J. Gregory (Prior Lake MN) Savick Wayne K. (Eden Prairie MN), Self-zeroing pressure signal generator.
  10. Tucker Robert L. (Phoenix AZ) Staller Joseph M. (Tempe AZ), Semiconductor pressure sensor means and method.
  11. Adams Victor J. (Tempe AZ) Bennett Paul T. (Phoenix AZ) Hughes Henry G. (Scottsdale AZ) Scofield ; Jr. Brooks L. (Tempe AZ) Stuckey Marilyn J. (Phoenix AZ), Semiconductor wafer level package.
  12. Sooriakumar K. (Scottsdale AZ) Monk David J. (Mesa AZ) Chan Wendy K. (Scottsdale AZ) Goldman Kenneth G. (Chandler AZ), Vertically integrated sensor structure and method.

이 특허를 인용한 특허 (20)

  1. Walmsley, Robert G; Zhang, Zhuqing; Wu, Jennifer; Bernard, Sheldon A; Choy, Silam J, Device including interposer between semiconductor and substrate.
  2. Benzel, Hubert; Finkbeiner, Stefan; Schelling, Christoph; Gonska, Julian, Electrical through-plating of semiconductor chips.
  3. Troy, Brian I.; Renault, Mickael; Maguire, Thomas L.; Lacey, Joseph Damian Gordon; Bobey, James F., Elimination of silicon residues from MEMS cavity floor.
  4. Robert L. Wood ; Bruce W. Dudley, Encapsulated microelectromechanical (MEMS) devices.
  5. Johari-Galle, Houri; Judy, Michael W., MEMS device with stress relief structures.
  6. Kaanta, Bradley C.; Jia, Kemiao, Mechanically isolated MEMS device.
  7. Suminto, James Tjanmeng; Yunus, Mohammad, Media-compatible electrically isolated pressure sensor for high temperature applications.
  8. Suminto, James Tjanmeng; Yunus, Mohammad, Media-compatible electrically isolated pressure sensor for high temperature applications.
  9. De Bortoli Eros,ITX, Method for manufacturing a pressure-measuring device equipped with a resonating element.
  10. Najafi Nader ; Massoud-Ansari Sonbol, Method for packaging microsensors.
  11. Shaw, Mark Andrew; Soglio, Fabrizio, Method of packaging a MEMS transducer device and packaged MEMS transducer device.
  12. Takemasa, Kengo; Ooka, Fumihiko, Package structure for an acceleration sensor.
  13. Karpman, Maurice S., Packaged microchip with isolator having selected modulus of elasticity.
  14. Karpman,Maurice S.; Hablutzel,Nicole; Farrell,Peter W.; Judy,Michael W.; Felton,Lawrence E.; Long,Lewis, Packaged microchip with premolded-type package.
  15. Kawamura, Hideki; Nakaji, Hiroyuki; Yamaguchi, Yoshihiro; Endo, Jun; Saito, Masato, Piezoelectric sensor including a sensor unit having a first adhesive layer with different properties than a second adhesive layer.
  16. McNeil, Andrew C.; Geisberger, Aaron A.; Koury, Jr., Daniel N.; Li, Gary G., Semiconductor device with reduced sensitivity to package stress.
  17. Dangtran, John; Horton, Roger, Sensor device packaging.
  18. Morales, Gilberto; Stewart, Carl E.; Davis, Richard A.; Bradley, Alistair D., Sensor geometry for improved package stress isolation.
  19. Zhang, Xin; Judy, Michael W.; Molnar, George M.; Needham, Christopher; Jia, Kemiao, Stress isolation platform for MEMS devices.
  20. Zhang, Xin; Judy, Michael; Chau, Kevin H. L.; Kuan, Nelson; Spooner, Timothy; Paydenkar, Chetan; Farrell, Peter, Stress mitigation in packaged microchips.
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