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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0285841 (1999-04-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 12 |
A method of making a collimator having a generally honeycomb shape made from sheets of thin metal. The sheets are deformed using a progressive form die assembly into what may be termed truncated pyramids alternately inverted with top and bottom major flats connected by slant walls. Successive sheets
[ What is claimed is:] [1.] A method of forming a collimator for filtering a flow of metallic particles generated by a device for depositing a film of metallic material on a semiconductor wafer, said collimator comprising a plurality of interconnected metal sheets, each of said sheets being formed i
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