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특허 상세정보

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Non-thermal process for annealing crystalline materials

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) H01L-021/265   
미국특허분류(USC) 438/535 ; 438/512 ; 438/514
출원번호 US-0670909 (1996-06-26)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    McDonnell
인용정보 피인용 횟수 : 30  인용 특허 : 2
초록

Bulk crystalline materials are annealed by introducing into them mechanical energy of sufficient intensity to create a large amplitude sound wave. The mechanical energy may be introduced into the material, for example, by laser ablation. Where the bulk crystalline material is a doped semiconductor, the process also electrically activates the material.

대표
청구항
▼

[ What is claimed is:] [1.] A method of mechanically annealing and electrically activating a volume of a crystalline semiconductor doped by implantation, comprising the step of forming an ablation plasma on a surface of said doped crystalline semiconductor by focusing energy onto a spot on said surface so as to launch into said volume of said doped crystalline semiconductor outside said spot a sound wave of sufficient intensity to propagate within, mechanically anneal, and electrically activate said volume while temperatures within said mechanically anne...

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. Golovchenko Jene A. (Basking Ridge NJ) Venkatesan Thirumalai N. C. (Highland Park NJ). Annealing of uncapped compound semiconductor materials by pulsed energy deposition. USP1979054154625.
  2. Kotidis Petros A. (Waban MA) Woodroffe Jaime A. (North Reading MA) Rostler Peter S. (Newton MA). Apparatus for measuring surface movement of an object that is subjected to external vibrations. USP1997045623307.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 30

  1. Stamps, Frank B.; Popelka, David A.; Covington, Charles Eric; Parham, Thomas C.. Active prop rotor stability system. USP2014038662442.
  2. Jenson, Mark L.; Klaassen, Jody J.; Sullivan, Jim. Active wireless tagging system on peel and stick substrate. USP2009107603144.
  3. Shakespeare,Stuart. Apparatus and method for depositing material onto a substrate using a roll-to-roll mask. USP2007117294209.
  4. Jacobs, Harlan T.; Jenson, Mark L.; Klaassen, Jody J.; Yan, Jenn-Feng. Battery-operated wireless-communication apparatus and method. USP2011017877120.
  5. Jacobs, Harlan T.; Jenson, Mark L.; Klassen, Jody J.; Yan, Jenn-Feng. Battery-operated wireless-communication apparatus and method. USP2012078219140.
  6. Jacobs,Harlan Theodore; Jenson,Mark Lynn; Klaassen,Jody Jon; Yan,Jenn Feng. Battery-operated wireless-communication apparatus and method. USP2008107433655.
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  9. Jacobs, Harlan T.; Jenson, Mark L.; Klaassen, Jody J.; Yan, Jenn-Feng. Encapsulated integrated-circuit device with thin-film battery. USP2014068761842.
  10. Tarnowski,Dave J.; Jenson,Mark L.. Layered barrier structure having one or more definable layers and method. USP2009027494742.
  11. Klaassen,Jody J.. Lithium/air batteries with LiPON as separator and protective barrier and method. USP2008037344804.
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  13. Jenson, Mark L.. Low-temperature fabrication of thin-film energy-storage devices. USP2005116962613.
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  28. Jenson,Mark L.. Thin-film battery devices and apparatus for making the same. USP2007017157187.
  29. Jenson,Mark Lynn; Weiss,Victor Henry. Thin-film battery having ultra-thin electrolyte. USP2006127144655.
  30. Jenson,Mark Lynn; Weiss,Victor Henry. Thin-film battery having ultra-thin electrolyte and associated method. USP2007037194801.

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