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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0109684 (1998-07-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 97 인용 특허 : 4 |
A universal cold-cathode type ion source with a closed-loop electron drifting source and with an ion-beam propagation direction perpendicular to the plane of electron drifting is intended for uniformly treating stationary or moveable objects with such processes as cleaning, activation, polishing, th
[ What we claim is:] [1.] A universal ion beam source with a closed-loop ion-emitting slit capable of emitting an ion beam toward an object located in a position reachable by said ion beam, comprising:a hollow housing that functions as a cathode of said ion beam source;an anode located in said hollo
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