[특허]Method of manufacturing diamond heat sink

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Method of manufacturing diamond heat sink 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B44C-001/22 H01L-023/34 H01L-021/3065
출원번호	US-0021546 (1998-02-10)
우선권정보	JP-0030102 (1997-02-14)
발명자 / 주소	Shiomi Hiromu,JPX Kumazawa Yoshiaki,JPX
출원인 / 주소	Sumitomo Electric Industries, Ltd., JPX
대리인 / 주소	Fasse
인용정보	피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 8

초록 ▼

A diamond polycrystal body having metal films on its upper and lower surfaces is cut in the vertical direction using a laser to form a diamond polycrystal body piece having upper and lower surfaces and a cut surface connecting the upper and lower surfaces. The cut surface may be damaged and include graphite resulting from the laser cutting. To remove the damage and the graphite, the cut surface of the diamond polycrystal body piece is then plasma-treated. Thereby a prescribed degree of electrical insulation between the metallized upper and lower surfaces can be ensured.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A method of manufacturing a diamond heat sink, comprising the steps of:preparing a diamond polycrystal body having metal films formed on upper and lower body surfaces thereof;cutting said diamond polycrystal body, thereby forming at least one diamond polycrystal body piece having upper and lower piece surfaces with portions of said metal films thereon and a cut surface connecting said upper and lower piece surfaces; andafter said cutting is completed, plasma-treating said cut surface of said diamond polycrystal body piece with a plasma.

이 특허에 인용된 특허 (8)

Shiomi Hiromu (Itami JPX) Nakahata Hideaki (Itami JPX) Nishibayashi Yoshiki (Itami JPX) Shikata Shin-ichi (Itami JPX), Diamond heat sink comprising synthetic diamond film.
상세보기
Shiomi Hiromu,JPX ; Nakahata Hideaki,JPX ; Nishibayashi Yoshiki,JPX ; Shikata Shin-ichi,JPX, Diamond heat sink including microchannel therein and methods for manufacturing diamond heat sinks.
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Ting Jyh-Ming (Fairborn OH) Lake Max L. (Yellow Springs OH), Diamond/carbon/carbon composite useful as an integral dielectric heat sink.
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Nishibayashi Yoshiki (Hyogo JPX) Shiomi Hiromu (Hyogo JPX) Fujimori Naoji (Hyogo JPX), Method for fabricating a schottky junction.
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Miyauchi Shigeaki (Kobe JPX) Miyata Koichi (Kobe JPX) Kumagai Kazuo (Kobe JPX) Kobashi Koji (Nishinomiya JPX), Method of etching diamond thin films.
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Iguchi Takahisa (Hyogo JPX) Nakamura Tsutomu (Hyogo JPX) Nakai Tetsuo (Hyogo JPX), Method of manufacturing a diamond heat sink.
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Iguchi Takahisa (Hyogo JPX) Nakamura Tsutomu (Hyogo JPX) Nakai Tetsuo (Hyogo JPX), Polycrystalline diamond heat sink having major surfaces electrically insulated from each other.
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Anthony Thomas R. (Schenectady NY) Fleischer James F. (Scotia NY), Suppression of graphite formation during laser etching of diamond.
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이 특허를 인용한 특허 (8)

Poo, Chia Yong; Jeung, Boon Suan; Waf, Low Siu; Yu, Chan Min; Lou, Neo Yong; Koon, Eng Meow; Leng, Ser Bok; Kwang, Chun Swee; Chung, So Chee; Song, Ho Kwok, Apparatus and method for packaging circuits.
상세보기
Chia, Yong Poo; Waf, Low Siu; Boon, Suan Jeung; Koon, Eng Meow; Chua, Swee Kwang, Method for packaging circuits.
상세보기
Chia, Yong Poo; Waf, Low Siu; Boon, Suan Jeung; Koon, Eng Meow; Chua, Swee Kwang, Method for packaging circuits.
상세보기
Poo, Chia Y.; Waf, Low S.; Jeung, Boon S.; Koon, Eng M.; Kwang, Chua S., Method for packaging circuits.
상세보기
Chia, Yong Poo; Waf, Low Siu; Boon, Suan Jeung; Koon, Eng Meow; Chua, Swee Kwang, Method for packaging circuits and packaged circuits.
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Fujii, Satoshi; Gotou, Noboru; Uemura, Tomoki; Saka, Toshiaki; Itakura, Katsuhiro, Method for separating chips from diamond wafer.
상세보기
Chua, Swee Kwang; Boon, Suan Jeung; Chia, Yong Poo; Loo, Neo Yong, Wafer level packaging.
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Chua, Swee Kwang; Boon, Suan Jeung; Chia, Yong Poo; Neo, Yong Loo, Wafer level packaging.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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