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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0144436 (1998-09-01) |
우선권정보 | KR-0060897 (1997-11-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 1 인용 특허 : 6 |
A vacuum transfer device for engaging a vacuum chuck to introduce a vacuum thereto includes an upper fixed plate fixed, a lower plate slidingly coupled with the upper plate so as to be capable of sliding toward and away from the vacuum chuck, and a pushing unit mounted to the upper plate for forcing
[ What is claimed is:] [1.] A vacuum transfer device of a vacuum transfer system for use in a semiconductor device fabrication facility, said device comprising:a fixed upper plate;a lower plate slidingly coupled to said upper plate so as to be slidable relative to said upper plate in a direction bac
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