검색연산자 | 기능 | 검색시 예 |
---|---|---|
() | 우선순위가 가장 높은 연산자 | 예1) (나노 (기계 | machine)) |
공백 | 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 | 예1) (나노 기계) 예2) 나노 장영실 |
| | 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 | 예1) (줄기세포 | 면역) 예2) 줄기세포 | 장영실 |
! | NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 | 예1) (황금 !백금) 예2) !image |
* | 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 | 예) semi* |
"" | 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 | 예) "Transform and Quantization" |
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) | C23C-016/34 |
미국특허분류(USC) | 427/250 ; 427/255.394 ; 427/225.7 |
출원번호 | US-0738534 (1996-10-30) |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 | |
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 3 |
The invention relates to a wear, erosion and corrosion resistant coating comprising a first layered zone deposited on a substrate which comprises at least one layer of a titanium nitrogen-containing layer with a nitrogen content varying from 0 to 35 atomic percent, a second layered zone deposited on the first layered zone and which comprises at least two layers of a titanium nitrogen-containing compound with a nitrogen content varying from 38 atomic percent to 54 atomic percent of nitrogen.
[ What is claimed is:] [1.] A method for producing a multilayer titanium nitrogen-containing coating on a substrate comprising the steps:(a) placing a substrate to be coated in a chamber containing a titanium based target and a nitrogen-containing gas mixture;(b) evaporating the titanium from the titanium based target to produce a titanium vapor to interact with the nitrogen in the nitrogen-containing gas mixture to form a first zone of at least one titanium layer containing between 0 and 24 atomic percent nitrogen on the substrate;(c) changing the ratio...