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Metallic thin flim and method of manufacturing the same, and surface acoustic wave device using the metallic thin film and the method thereof 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C30B-023/08
출원번호 US-0786410 (1997-01-21)
우선권정보 JP-0006964 (1996-01-19)
발명자 / 주소
  • Nakanishi Hidefumi,JPX
  • Sakurai Atsushi,JPX
  • Kobayashi Masato,JPX
  • Yoshino Yukio,JPX
출원인 / 주소
  • Murata Manufacturing Co., Ltd., JPX
대리인 / 주소
    Ostrolenk, Faber, Gerb & Soffen, LLP
인용정보 피인용 횟수 : 36  인용 특허 : 7

초록 ▼

By using a dual ion-beam sputtering apparatus, an aluminum thin-film is formed on a glass substrate made of an amorphous material. While radiating an ion beam for assisting the film formation from an ion source onto the glass substrate, the aluminum thin-film is formed by depositing the sputtering i

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A method of forming a thin film electrode for use in a surface acoustic wave device, said method comprising the steps of:forming an amorphous layer of an electrode material on a surface of a piezoelectric substrate while irradiating said surface of the piezoelectric subst

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Sakurai Atsushi (Nagaokakyo JPX), Electrode forming method for surface acoustic wave device.
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  2. Maeda Keiichi (Kanagawa JPX), Method for fabricating an interconnect for semiconductor devices using (111) crystal plane orientation.
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  3. Menzel Gnter (Munich DEX), Method for preparing coarse-crystal or single-crystal metal films.
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  4. Ieki Hideharu (Kyoto JPX) Sakurai Atsushi (Kyoto JPX) Kimura Koji (Kyoto JPX), Method of manufacturing surface acoustic wave device.
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  5. Nulman Jaim, Method of metalizing a semiconductor wafer.
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  6. Kontra Richard Steven ; Licata Thomas John ; Ryan James Gardner ; Sullivan Timothy Dooling, Process for depositing a conductive thin film upon an integrated circuit substrate.
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  7. Cho Chih-Chen (Richardson TX) Gnade Bruce E. (Rowlett TX), Via filling by single crystal aluminum.
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이 특허를 인용한 특허 (36)

  1. Jenson, Mark L.; Klaassen, Jody J.; Sullivan, Jim, Active wireless tagging system on peel and stick substrate.
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  2. Shakespeare,Stuart, Apparatus and method for depositing material onto a substrate using a roll-to-roll mask.
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  3. Jacobs, Harlan T.; Jenson, Mark L.; Klaassen, Jody J.; Yan, Jenn-Feng, Battery-operated wireless-communication apparatus and method.
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  4. Jacobs, Harlan T.; Jenson, Mark L.; Klassen, Jody J.; Yan, Jenn-Feng, Battery-operated wireless-communication apparatus and method.
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  5. Jacobs,Harlan Theodore; Jenson,Mark Lynn; Klaassen,Jody Jon; Yan,Jenn Feng, Battery-operated wireless-communication apparatus and method.
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  6. Butz, Jochen; Veerasamy, Vijayen S.; Thomsen, Scott V.; Dietrich, Anton, Coated article having low-E coating with ion beam treated IR reflecting layer and corresponding method.
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  7. Veerasamy, Vijayen S., Coated article having low-E coating with ion beam treated IR reflecting layer and corresponding method.
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  8. Veerasamy, Vljayen S., Coated article having low-E coating with ion beam treated IR reflecting layer and corresponding method.
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  9. Hideomi Koinuma JP; Masashi Kawasaki JP, Combinatorial molecular layer epitaxy device.
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  10. Jenson,Mark Lynn, Continuous processing of thin-film batteries and like devices.
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  11. Jenson,Mark Lynn; Klaassen,Jody Jon; Weiss,Victor Henry; Yan,Jenn Feng, Device enclosures and devices with integrated battery.
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  12. Baubet, Carole; Fischer, Klaus; Loergen, Marcus; Giron, Jean Christophe; Nadaud, Nicolas; Mattman, Eric; Rousseau, Jean Paul; Hofrichter, Alfred; Jansen, Manfred, Dielectric-layer-coated substrate and installation for production thereof.
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  13. Ozawa,Masashi; Tsuji,Tatsunori; Ishii,Akio; Saegusa,Kazuhiro; Higuchi,Kazuhiro; Inoue,Akihiro, Electrolytic capacitor and electrode foil used for electrolytic capacitor.
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  14. Jacobs, Harlan T.; Jenson, Mark L.; Klaassen, Jody J.; Yan, Jenn-Feng, Encapsulated integrated-circuit device with thin-film battery.
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  15. Reade, Ronald P.; Berdahl, Paul H.; Russo, Richard E.; Fritzemeier, Leslie G., Ion texturing methods and articles.
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  16. Tarnowski,Dave J.; Jenson,Mark L., Layered barrier structure having one or more definable layers and method.
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  17. Klaassen,Jody J., Lithium/air batteries with LiPON as separator and protective barrier and method.
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  18. Klaassen,Jody J., Lithium/air batteries with LiPON as separator and protective barrier and method.
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  19. Jenson, Mark L., Low-temperature fabrication of thin-film energy-storage devices.
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  20. Jenson, Mark L.; Klaassen, Jody J., Method and apparatus for integrated-circuit battery devices.
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  21. Jenson, Mark L.; Klaassen, Jody J., Method and apparatus for integrated-circuit battery devices.
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  22. Jenson,Mark L.; Weiss,Victor H., Method and apparatus for thin-film battery having ultra-thin electrolyte.
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  23. Jenson, Mark Lynn, Method of continuous processing of thin-film batteries and like devices.
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  24. Kriltz, Uwe; Butz, Jochen; Jänicke, Gerald; Veerasamy, Vijayen S., Method of forming coated article using sputtering target(s) and ion source(s) and corresponding apparatus.
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  25. Veerasamy,Vijayen S., Method of making coated article having low-E coating with ion beam treated and/or formed IR reflecting layer.
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  26. Reade, Ronald P.; Berdahl, Paul H.; Russo, Richard E., Particle beam biaxial orientation of a substrate for epitaxial crystal growth.
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  27. Ovshinsky,Stanford R., Quantum limit catalysts and hydrogen storage materials.
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  28. Read, John B.; Sweeney, Daniel C., Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices.
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  29. Sweeney, Daniel C.; Read, John B., Rugged, gel-free, lithium-free, high energy density solid-state electrochemical energy storage devices.
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  30. Higuchi,Kazuhiro; Inoue,Akihiro; Ishii,Akio; Saegusa,Kazuhiro; Hatanaka,Kazuhiro, Solid electrolytic capacitor.
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  31. Jenson,Mark L.; Klaassen,Jody J.; Sullivan,Jim; Lemaire,Charles A.; Billion,Richard E., Solid state MEMS activity-activated battery device and method.
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  32. Jenson, Mark L.; Klaassen, Jody J.; Sullivan, Jim; Lemaire, Charles A.; Billion, Richard E., Solid state activity-activated battery device and method.
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  33. Klaassen, Jody J., Thin-film batteries with polymer and LiPON electrolyte layers and method.
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  34. Jenson,Mark L., Thin-film battery devices and apparatus for making the same.
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  35. Jenson,Mark Lynn; Weiss,Victor Henry, Thin-film battery having ultra-thin electrolyte.
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  36. Jenson,Mark Lynn; Weiss,Victor Henry, Thin-film battery having ultra-thin electrolyte and associated method.
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