$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Energy filter, particularly for an electron microscope

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01J-037/26
출원번호 US-0145397 (1998-09-01)
우선권정보 DE-0038070 (1997-09-01)
발명자 / 주소
  • Benner Gerd,DEX
출원인 / 주소
  • Leo Elektronenmikroskopie GmbH, DEX
인용정보 피인용 횟수 : 17  인용 특허 : 7

초록

An energy filter, particularly for electron microscopes, in which the setting of different energy bandwidths takes place electron-optically. For this purpose, one or more deflecting systems and one or more transfer lenses are provided at the filter exit. A diaphragm arrangement is arranged in the di

대표청구항

[ I claim:] [1.] An energy filter having an exit image plane (BA) and a dispersion plane (S), comprising:a diaphragm arrangement (14, 27, 30) for energy selection in said dispersion plane (S) or in a plane (S') conjugate to said dispersion plane (S), andat least one deflecting system (12, 13; 12', 1

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Rose Harald (Darmstadt DEX) Lanio Stefan (Rossdorf DEX), Alpha-type electron energy filter.
  2. van Oostrum ; Karel Jan ; VAN Gorkom ; Gerardus Gegorius Petrus, Electron microscope.
  3. Rose Harald (Darmstadt DEX) Uhlemann Stephan (Darmstadt DEX) Weimer Eugen (Essingen DEX), Imaging electron energy filter.
  4. Egle Wilhelm (Aalen DEX) Ottensmeyer F. Peter (Don Mills CAX) Rilk Albrecht (Knigsbronn DEX), Imaging method and apparatus for electron microscopes.
  5. Benner Gerd (Aalen DEX), Method of illuminating an object in a transmission electron microscope.
  6. Benner Gerd (Aalen DEX), Method of illuminating an object with a focused electron beam and an electron-optical illuminating system therefor.
  7. Rose Harald (Darmstadt DEX) Lanio Stefan (Rossdorf DEX), Omega-type electron energy filter.

이 특허를 인용한 특허 (17)

  1. Casares, Antonio; Kemen, Thomas; Knippelmeyer, Rainer; Bayer, Thomas; Fritz, Georg; Greschner, Johann; Kalt, Samuel, Charged particle-optical systems, methods and components.
  2. Preikszas, Dirk; Hubbard, David Ralph, Control of instruments.
  3. Preikszas, Dirk, Device for deflecting or guiding in a particle beam.
  4. Sohda, Yasunari; Ohashi, Takeyoshi; Miwa, Takafumi; Kawano, Hajime, Electron beam equipment.
  5. Rose, Harald, Electron energy filter with magnetic deflecting regions.
  6. Weimer Eugen,DEX ; Bihr Johannes,DEX, Particle beam apparatus with energy filter.
  7. Schnell, Michael, Particle beam device and method for analyzing and/or treating an object.
  8. Preikszas, Dirk; Steigerwald, Michael; Tobias, Daniel; Eisele, Andreas; Mommsen, Momme; Doenitz, Dietmar; Hendrich, Christian, Particle optical device with magnet assembly.
  9. Kienzle, Oliver, Particle-optical apparatus, illumination apparatus and projection system as well as a method employing the same.
  10. Knippelmeyer, Rainer; Kienzle, Oliver; Kemen, Thomas; Mueller, Heiko; Uhlemann, Stephan; Haider, Maximilian; Casares, Antonio, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
  11. Knippelmeyer, Rainer; Kienzle, Oliver; Kemen, Thomas; Mueller, Heiko; Uhlemann, Stephan; Haider, Maximilian; Casares, Antonio, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
  12. Knippelmeyer, Rainer; Kienzle, Oliver; Kemen, Thomas; Mueller, Heiko; Uhlemann, Stephan; Haider, Maximilian; Casares, Antonio; Rogers, Steven, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
  13. Knippelmeyer, Rainer; Kienzle, Oliver; Kemen, Thomas; Mueller, Heiko; Uhlemann, Stephan; Haider, Maximilian; Casares, Antonio; Rogers, Steven, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
  14. Knippelmeyer, Rainer; Kienzle, Oliver; Kemen, Thomas; Mueller, Heiko; Uhlemann, Stephan; Haider, Maximillian; Casares, Antonio; Rogers, Steven, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
  15. Knippelmeyer,Rainer; Kienzle,Oliver, Particle-optical systems and arrangements and particle-optical components for such systems and arrangements.
  16. Benner, Gerd, Transmission electron microscope.
  17. Tsuno Katsushige,JPX, Transmission electron microscope having energy filter.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트