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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0580358 (1995-12-28) |
우선권정보 | JP-0248495 (1995-09-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 13 |
In a vacuum pressure control system constituted of a vacuum vessel, a vacuum pump sucking gas in the vacuum vessel, a vacuum proportional opening and closing valve disposed on a pipe connecting the vacuum vessel and the vacuum pump, the vacuum proportional opening and closing valve changing its open
[ What is claimed is:] [1.] A vacuum pressure control system comprising a vacuum vessel, a vacuum pump for sucking gas in said vacuum vessel, a vacuum proportional opening and closing valve disposed on a pipe connecting the vacuum vessel and the vacuum pump, the vacuum proportional opening and closi
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