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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0240254 (1999-01-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 28 인용 특허 : 26 |
The system and method for molecular contamination control permits purging a SMIF pod to desired levels of relative humidity, oxygen, or particulates. The SMIF pod includes an inlet port including a check valve and filter assembly for supplying a clean, dry gaseous working fluid to maintain low level
[ What is claimed is:] [1.] A modular isolation capsule, comprising:a housing defining a chamber for semiconductor manufacturing materials, said housing including a base;an inlet tower disposed in said base for admitting a gaseous working fluid to said modular isolation capsule for purging said modu
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