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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0883957 (1997-06-27) |
우선권정보 | JP-0114166 (1989-05-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 13 |
The gate valve is disposed upstream of the heat exchanger and is provided in a suction pipe which extends between the vacuum vessel and the turbomolecular pump. In exhausting the vacuum vessel, the gate valve is opened and, in this state, the turbomolecular pump and the helium refrigerator are run.
[ What is claimed is:] [9.] An evacuation apparatus operatively connectable to a vacuum vessel to be evacuated, said apparatus comprising:a turbomolecular pump having a rotor provided with a plurality of rotor blades and a spacer provided with a plurality of stator blades, said turbomolecular pump o
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