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특허 상세정보

Sealed container and sealed container ambient gas substitution apparatus and method

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B65B-031/00   
미국특허분류(USC) 141/063 ; 141/048 ; 141/093 ; 141/098 ; 414/217 ; 414/940
출원번호 US-0080919 (1998-05-19)
우선권정보 JP-0145922 (1997-05-20)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Hill & Simpson
인용정보 피인용 횟수 : 13  인용 특허 : 3
초록

First and second wall portions respectively spread along first and second opposing inner surfaces of a housing portion, and a plurality of vent pores that are distributed along the first and second inner surfaces are formed in the first and second wall portions. Hence, when an ambient gas is supplied to a space between the first inner surface and the first wall portion and another ambient gas is simultaneously discharged from a space between the second inner surface and the second wall surface, a laminar flow of an ambient gas directed from the first inn...

대표
청구항

[ What is claimed is:] [1.] A sealed container, comprising:a housing portion having first and second opposing inner surfaces,a base portion for holding a plate-like body to be perpendicular to said first and second inner surfaces and for fitting with said housing portion to form a sealed space,a gas supply opening in said housing portion at said first opposing inner surface;a gas exhaust opening in said housing portion at said second opposing inner surface;first and second wall portions respectively along said first and second inner surfaces, said first ...

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 13

  1. Miyajima, Toshihiko; Suzuki, Hitoshi; Igarashi, Hiroshi. Enclosed container lid opening/closing system and enclosed container lid opening/closing method. USP2009047523769.
  2. Shin, Takeshi; Nishikawa, Tadashi; Takahara, Masahiro; Ueda, Toshihito. Inactive gas supply facility and inactive gas supply method. USP2017119822929.
  3. Yoshimura, Takehiko; Nagata, Tatsuhiko; Seki, Masaru; Cho, Yoshinori. Load port. USP2015049010384.
  4. Paul E. Lewis ; Adel George Tannous ; Karl A. Davlin. Method and apparatus for processing tool interface in a manufacturing environment. USP2002076418979.
  5. Kobayashi, Yoshiaki. Method of manufacturing a semiconductor integrated circuit device including elimination of static charge of a treated wafer. USP2012028119547.
  6. Miyajima, Toshihiko; Igarashi, Hiroshi; Suzuki, Hitoshi. Purging apparatus and purging method. USP2010027654291.
  7. Hirano, Makoto; Hayashi, Akinari; Tsuri, Makoto; Miyata, Haruyuki. Semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor device manufacturing method. USP2014078777553.
  8. Babbs, Daniel; Fosnight, William; May, Robert C.; Weaver, William. Side opening unified pod. USP2015089105673.
  9. Babbs, Daniel; Fosnight, William; May, Robert C.; Weaver, William. Side opening unified pod. USP2018059978623.
  10. Sumi, Atsushi; Toda, Junya; Nakayama, Takayuki. Substrate storage container. USP2010027658289.
  11. Sumi, Atsushi; Toda, Junya; Nakayama, Takayuki. Substrate storage container. USP2010027658290.
  12. Sumi,Atsushi; Toda,Junya; Nakayama,Takayuki. Substrate storage container. USP2008117455180.
  13. Okabe, Tsutomu; Igarashi, Hiroshi. Substrate storage pod and lid member thereof, and processing apparatus for a substrate. USP2014118893753.