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Large area low mass IR pixel having tailored cross section 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-027/14
  • H01L-031/00
  • H01L-031/058
출원번호 US-0283649 (1999-04-01)
발명자 / 주소
  • Cole Barrett E.
  • Higashi Robert E.
출원인 / 주소
  • Honeywell International Inc.
대리인 / 주소
    Mackinnon
인용정보 피인용 횟수 : 16  인용 특허 : 10

초록

The present invention provides a much more optimum design for an infrared pixel microstructure. The configuration of the microstructure itself is designed to optimum operational characteristics including faster speeds than previously available. These faster speeds are achieved by reducing the therma

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] A microstructure for use as a pixel in a pixel array, comprising:a plurality of connection pads structurally connected to a substrate, the connection pads further providing electrical connection to a pixel control circuit on the substrate;a support structure structurally

이 특허에 인용된 특허 (10)

  1. Wood R. Andrew (Bloomington MN), Camera for producing video output signal, infrared focal plane array package for such camera, and method and apparatus f.
  2. Wood Roland Andrew (Bloomington MN) Kubisiak David (Chanhassen MN) Rezachek Thomas Michael (Cottage Grove MN), Compact thermal camera.
  3. Vilain Michel,FRX ; Yon Jean-Jacques,FRX, Infrared detector and manufacturing process.
  4. Higashi Robert E. (Minneapolis MN) Johnson Robert G. (Minnetonka MN), Integrated micromechanical sensor element.
  5. Beratan Howard R. ; Cho Chih-Chen, Low mass optical coating for thin film detectors.
  6. Cole Barrett E. (Bloomington MN) Han Chien J. (Bloomington MN), Low power infrared scene projector array and method of manufacture.
  7. Cole Barrett E. (Bloomington MN), Microstructure design for high IR sensitivity.
  8. Liddiard Kevin C. (Adelaide AUX), Semiconductor film bolometer thermal infrared detector.
  9. Tanaka Akio (Tokyo JPX) Teranishi Nobukazu (Tokyo JPX), Titanium bolometer-type infrared detecting apparatus.
  10. Butler Donald P. ; Celik-Butler Zeynep ; Shan Pao-Chuan,TWX ; Jahanzeb Agha, Uncooled amorphous YBaCuO thin film infrared detector.

이 특허를 인용한 특허 (16)

  1. Wood,Roland Andrew, Camera having distortion correction.
  2. Cole, Barrett E.; Zook, David J., Carbon nanotube sensor.
  3. Cole, Barrett E.; Zook, J. David, Carbon nanotube sensor.
  4. Yamanaka, Hiroshi; Ichihara, Tsutomu; Watabe, Yoshifumi; Tsuji, Koji; Kirihara, Masao; Yoshihara, Takaaki; Nishijima, Yoichi; Hyodo, Satoshi, Infrared sensor unit and process of fabricating the same.
  5. Wood, Roland Andrew, Lightweight infrared camera.
  6. Daniel W. Youngner, MEMS microthruster array.
  7. Cole, Barrett E.; Cox, James Allen; Au, Kwong; Larsen, Christopher, MWIR sensor for flame detection.
  8. Wood, Roland Andrew, Microbolometer operating system.
  9. Wood, Roland Andrew, Microbolometer operating system.
  10. Neil T. Gordon GB; Anthony M. White GB; Charles T. Elliott GB, Noise reduced photon detector.
  11. Ionescu, Adrian C.; Howard, Philip Earl, Pixel structure and an associated method of fabricating the same.
  12. Wood,Roland A.; Higashi,Robert E.; Cole,Barrett E., Planar thermal array.
  13. LaVeigne, Joseph Donald; Lañnon, John; Goodwin, Scott; Kulick, Jason, Techniques for tiling arrays of pixel elements.
  14. LaVeigne, Joseph Donald, Techniques for tiling arrays of pixel elements and fabricating hybridized tiles.
  15. Oda, Naoki, Thermal infrared detector.
  16. Wada,Hideo; Oda,Naoki, Thermal infrared detector having a small thermal time constant and method of producing the same.
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