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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0178395 (1998-10-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 2 |
The invention relates to a susceptor lid for use in a CVI/CVD furnace. More specifically, the invention is directed to a lid configured to consecutively run CVI/CVD and heat treatment processes without opening the furnace. The susceptor lid according to the invention comprises a susceptor lid body h
[ What is claimed is:] [1.] A combined heat treat and CVI/CVD susceptor lid for a furnace susceptor, comprising:a susceptor lid body having a gas exhaust hole; and,an exhaust lid disposed over said gas exhaust hole, said exhaust lid being configured to move within the CVI/CVD furnace from a first po
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