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Use of multiple masks to control uniformity in coating deposition

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B05D-001/36
  • C23C-014/04
  • C23C-014/46
출원번호 US-0113673 (1998-07-10)
발명자 / 주소
  • Pavell James M.
  • Lee Chong C.
  • Cherbettchian Agop H.
  • Stewart Alan F.
출원인 / 주소
  • Litton Systems, Inc.
대리인 / 주소
    Arthur
인용정보 피인용 횟수 : 25  인용 특허 : 5

초록

The uniformity of individual layers of multiple coating materials deposited on a substrate in a vacuum deposition process (such as for manufacturing mirrors for use in ring laser gyroscopes) is improved by an apparatus and method that include changing the masks placed in front of the substrate upon

대표청구항

[ We claim:] [1.] A method of depositing successive layers of first and second coating materials onto a substrate, the method comprising:placing the substrate in a vacuum chamber having a source of the first coating material and the second coating material;placing a first shadow mask between the sub

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Bjornard Erik J. (Northfield MN) Valiska Michael J. (Lakeville MN) Taylor Clifford L. (Northfield MN), Film thickness uniformity control apparatus for in-line sputtering systems.
  2. Schultz Peter G. ; Xiang Xiaodong ; Goldwasser Isy, Giant magnetoresistive cobalt oxide compounds.
  3. Wei David T. (Malibu CA) Louderback Anthony W. (Ojai CA), Method for fabricating multi-layer optical films.
  4. Ohta Hiroshi (Wako JPX), Method of making a Josephson junction.
  5. Scott Gene (El Toro CA) Kohlenberger Charles W. (Fullerton CA) Warren David M. (Chino Hills CA), Multiple ion source method and apparatus for fabricating multilayer optical films.

이 특허를 인용한 특허 (25)

  1. Ling,Kow Je; Juang,Jiunn Shiuh, Dynamic film thickness control system/method and its utilization.
  2. Hultin Stigenberg,Anna; Schuisky,Mikael, Metal strip product.
  3. Hultin Stigenberg,Anna; Schuisky,Mikael, Metal strip product.
  4. Altknecht, David J.; Erickson, Robert E.; Lada, Christopher O.; Parkin, Stuart Stephen Papworth; Samant, Mahesh, Method and apparatus for substrate-mask alignment.
  5. Manuel,Mark; Kirkum,Christopher Dean; Racklyeft,Robert, Method and apparatus for the creation of a tool.
  6. Manuel,Mark; Kirkum,Christopher Dean; Racklyeft,Robert, Method and apparatus for the creation of a tool.
  7. Manuel,Mark, Method for building a tool.
  8. Wang, Youqi; Ramberg, C. Eric, Method for creating radial profiles on a substrate.
  9. Greaves,Thomas Nelson, Method for forming a tangible item and a tangible item formed by the method.
  10. Manuel,Mark, Method for producing a tool.
  11. Mustafa Pinarbasi, Method of making low stress and low resistance rhodium (RH) leads.
  12. William Debley ; Leo Lam ; Radhakrishna Mandyam ; Dhirubhai Patel, Method of shaping a flux mask and process of sputtering with the shaped flux mask.
  13. Wåhlin, Erik Karl Kristian, Multi-grid ion beam source for generating a highly collimated ion beam.
  14. W책hlin,Erik Karl Kristian, Multi-grid ion beam source for generating a highly collimated ion beam.
  15. Yan, Min; Erlat, Ahmet Gun; Liu, Jie, Optoelectronic devices having electrode films and methods and system for manufacturing the same.
  16. Wang, Youqi; Wu, Xin Di, Programmable flux gradient apparatus for co-deposition of materials onto a substrate.
  17. Youqi Wang ; Xin Di Wu, Programmable flux gradient apparatus for co-deposition of materials onto a substrate.
  18. Dang, Peter M.; Goitia, Jorge A.; Hwang, Cherngye; Mireles, Eduardo T., Symmetrical shaper for an ion beam deposition and etching apparatus.
  19. Manuel,Mark; Greaves,Thomas N., System and a method for cooling a tool.
  20. David Alan Baldwin ; Todd Lanier Hylton, System and method for controlling deposition thickness using a mask with a shadow that varies along a radius of a substrate.
  21. Baldwin, David Alan; Hylton, Todd Lanier, System and method for controlling deposition thickness using a mask with a shadow that varies with respect to a target.
  22. Manuel,Mark, Tool and a method for creating a tool.
  23. Manuel,Mark; Greaves,Thomas N., Tool and a method for creating the tool.
  24. Manuel,Mark; Greaves,Thomas N., Tool and a method for making a tool.
  25. Manuel, Mark, Tool having an ejection assembly, a method for making such a tool, and a method for ejecting a formed object from a tool.
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