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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0113673 (1998-07-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 25 인용 특허 : 5 |
The uniformity of individual layers of multiple coating materials deposited on a substrate in a vacuum deposition process (such as for manufacturing mirrors for use in ring laser gyroscopes) is improved by an apparatus and method that include changing the masks placed in front of the substrate upon
[ We claim:] [1.] A method of depositing successive layers of first and second coating materials onto a substrate, the method comprising:placing the substrate in a vacuum chamber having a source of the first coating material and the second coating material;placing a first shadow mask between the sub
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