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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0731059 (1996-10-09) |
우선권정보 | KR-0061827 (1995-12-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 3 |
The apparatus for manufacturing a diamond film having a large area according to the present invention comprises a pulse laser generating system for generating a pulse laser beam, a laser beam scanner for scanning said pulse laser beam, and a vacuum chamber which includes a target and a substrate hol
[ What is claimed is:] [1.] An apparatus for manufacturing a diamond film having a large area comprising:a pulse laser generating system for generating a pulse laser beam;a beam expander for expanding a size of the pulse laser beam to increase a power density of the pulse laser beam;a plurality of l
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