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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0893414 (1997-07-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 17 인용 특허 : 6 |
The present invention provides apparatus, systems, and methods related to the manufacture of integrated circuits. Specifically, embodiments of the present invention include apparatus designed to provide thorough and reliable fluid mixture for gases used in a semiconductor processing system. In one e
[ What is claimed is:] [1.] A gas mixing apparatus for use with a semiconductor wafer processing chamber, the mixing apparatus comprising:a gas mixer housing including a gas inlet for receiving one or more process gases, and a gas outlet;a fluid flow channel provided within the gas mixer housing and
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