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System and method for controlled delivery of liquified gases 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F17C-009/02
출원번호 US-0893499 (1997-07-11)
발명자 / 주소
  • Jurcik Benjamin
  • Udischas Richard
  • Wang Hwa-Chi
출원인 / 주소
  • American Air Liquide Inc.
대리인 / 주소
    Burns, Doane, Swecker & Mathis, L.L.P.
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 21

초록 ▼

Provided is a novel system and method for delivery of a gas from a liquified state. The system includes: (a) a compressed liquified gas cylinder having a gas line connected thereto through which the gas is withdrawn; (b) a gas cylinder cabinet in which the gas cylinder is housed; and (c) means for i

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A system for delivery of a gas, suitable for use as a semiconductor process gas, from a liquified state, the system comprising:(a) a compressed liquified gas cylinder having a gas line connected thereto through which the gas is withdrawn;(b) a gas cylinder cabinet in whic

이 특허에 인용된 특허 (21)

  1. Garrett Charles W. (Somerville AL) Robinson ; Jr. William H. (Huntland TN) Sierk Dennis A. (Huntsville AL), Apparatus and method for controlling functions of automated gas cabinets.
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  2. Louise Jean (Villejuif FRX) Mollaret Bertrand (Viroflay FRX) Thonnelier Jean-Yves (Voisins le Bretonneux FRX) Gary Daniel (Montigny le Bretonneux FRX), Apparatus for preparing ultra-pure nitrogen.
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  3. Take Masafumi (Tokyo JPX), Automatic cooling system.
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  4. Dickson Fred D. (Sulphur Springs TX), Burner block assembly.
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  5. Li Yao-En (Buffalo Grove IL) Rizos John (Frankfort IL), Chemical purification for semiconductor processing by partial condensation.
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  6. Gier Harold L. (Boulder CO) Jetley Richard L. (Boulder CO), Conditioning and loading apparatus and method for gas storage at cryogenic temperature and supercritical pressure.
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  7. Siefering Kevin L. (Cary NC) Whitlock Walter H. (Chapel Hill NC), Cryogenic station.
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  8. Thoma Klemens (Krefeld-Huls DEX) Volker Wolfgang (Tonisvorst DEX), Device for generating dry, cold gas flow.
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  9. Ito Atsushi (Yamagata JPX), Gas supply apparatus.
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  10. Ericson Richard D. (North Andover MA), Heated fluid control valve with electric heating element and thermocouple wiring disposed in rotatable shaft.
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  11. Groninger Greg D. (Midland MI), Heating apparatus for vaporizing liquefied gases.
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  12. Mostowy ; Jr. Lewis J. (Fogelsville PA) Chowdhury Naser M. (Schnecksville PA), High purity bulk chemical delivery system.
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  13. Sparks Anthony L. (Columbus IN), High temperature heated valve.
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  14. Stauffer Craig M. (3066 Scott Blvd. Santa Clara CA 95054), Integrated delivery system for chemical vapor from non-gaseous sources for semiconductor processing.
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  15. Rohrberg Roderick G. (Torrance CA) Young Russell D. (Redondo Beach CA) Rohrberg Timothy K. (Torrance CA), Modular bottle-mounted gas management system.
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  16. Hendricks Roger G. (R.D.#1 ; Box 73 ; Mingo Junction OH 43938), Portable heating unit for on-site charging of a cooling unit.
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  17. Ortner Robert (Alzenau 4 DEX) Pietsch Erich (Offenbach/Main DEX), Screw-in throttle valve and pressure gauge assembly.
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  18. Abraham Anthony W. (Arlington TX), System and method for automatic charging of refrigeration systems.
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  19. Daigle Regis G. (8402 E. Stella Rd. Tucson AZ 85730), Temperature controlled thermal jacket for transfering refrigerant.
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  20. Villiger Robert (Embrach CHX), Temperature sensor for a dryer accessory on a weighing device.
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  21. Kusumoto Satoru (Yokohama JPX) Oka Ryoichi (Yokohama JPX), Throttle valve.
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이 특허를 인용한 특허 (8)

  1. Galloway, Daniel; Bevelhymer, Darrell, Compressed gas-driven device with passive thermodynamic composition.
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  2. Galloway, Daniel; Bevelhymer, Darrell, Compressed gas-driven device with passive thermodynamic composition.
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  3. Dendy, Thomas M.; Falcone, Peter W.; Brenneke, Glenn S.; Mockry, Eldon F., Control system and method for vaporizer with heating tower.
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  4. Satoshi Hasaka JP; Kenji Shigeta JP; Takashi Kuroiwa JP; Tomoaki Hoshi JP; Hideki Seki JP; Toshiyuki Aida JP, Feed device for large amount of semiconductor process gas.
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  5. Zimmer, George M., Fluid heater.
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  6. Rameau,Guillaume; Laurent,Val��re; Breville,Thierry, System for heating tanks of liquefied gas by induction.
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  7. Zimmer, George M.; Kingman, Thomas H., Vaporizer with capacity control valve.
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  8. Hyde,Daniel Neal; Thomson,Christopher James, Vaporizing pressure regulator.
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