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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0364402 (1999-07-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 45 인용 특허 : 24 |
Method and system of rejuvenating pressurized fluid solvents used for cleaning a substrate in a pressurized vessel. A primary flow of the pressurized fluid solvent is continuously cycled from the pressurized vessel through a series of filters to remove insoluble and soluble contaminants, and then re
[ What is claimed is:] [1.] A system for cleaning a substrate using a pressurized fluid solvent, the system comprising:a pressurized vessel capable of withstanding pressures of at least about 800 pounds per square inch and having a chamber for containing the substrate to be cleaned and a volume of t
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