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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0097365 (1998-06-15) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 43 인용 특허 : 28 |
A method for forming thin polymer layers having low dielectric constants or semiconductor substrates. In one embodiment, the method includes the vaporization of stable di-p-xylylene, the pyrolytic conversion of such gaseous dimer material into reactive monomers, and blending of the resulting gaseous
[ What is claimed is:] [1.] A process of forming a copolymer layer on the surface of an object in a deposition chamber, comprising:flowing p-xylylene and tetraallyloxysilane into the chamber; anddepositing a copolymer layer onto the object by co-polymerizing the p-xylylene and the tetraallyloxysilan
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