[특허]Method of operating vacuum pump

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Method of operating vacuum pump 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H02P-005/00
출원번호	US-0143102 (1998-08-28)
우선권정보	JP-0252836 (1997-09-02)
발명자 / 주소	Ishibashi Yoshimitsu,JPX Usui Katsuaki,JPX
출원인 / 주소	Ebara Corporation, JPX
대리인 / 주소	Armstrong, Westerman, Hattori, McLeland & Naughton
인용정보	피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 8

초록 ▼

A vacuum pump for use in an evacuating system for a semiconductor fabrication apparatus is operated at a steady rotational speed to evacuate the semiconductor fabrication apparatus. Then, in response to a signal indicative of an operating state of the semiconductor fabrication apparatus which does not need to be evacuated, the rotational speed of the vacuum pump is reduced to an idling rotational speed, thereby to lower electric energy consumption by the vacuum pump.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A method of operating a vacuum pump actuated by a motor for use in an evacuating system for a semiconductor fabrication apparatus, comprising the steps of:operating the motor actuating the vacuum pump at a steady rotational speed to evacuate the semiconductor fabrication apparatus; andreducing the rotational speed of the motor actuating the vacuum pump to an idling rotational speed in response to a signal indicative of an operating state of the semiconductor fabrication apparatus during a time period in which the semiconductor fabrication apparatus does not need to be evacuated, thereby reducing electric energy consumption by the motor actuating the vacuum pump and preventing oil and the other contaiminatants from flowing back to the semiconductor fabrication apparatus.

이 특허에 인용된 특허 (8)

Bodovsky Paul W. (Sherman TX), Air filtering machinery with variable speed cleaning.
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Thoma Frank (Stuttgart DEX), Air-compressing injection internal combustion engine, especially for passenger motor vehicles.
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Basch Lauren R. (East Greenbush NY) Patashnick Harvey (Voorheesville NY), Airborne particulate.
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Guo Fangjiang (Ithaca NY) Pellerin Roger A. (Freeville NY) Ludington David C. (Ithaca NY) Aneshansley Daniel J. (Ithaca NY), Controlling vacuum level with a two-level vacuum system controller and adjustable speed drive.
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Block Thomas S. (Muskegon MI), Floor treating machine.
상세보기
Ojima Yoshinori,JPX ; Matake Kozo,JPX ; Sato Genichi,JPX ; Hisabe Yasushi,JPX ; Nagayama Masami,JPX ; Usui Katsuaki,JPX ; Ogamino Hiroaki,JPX, Multishaft electric motor and positive-displacement pump combined with such multishaft electric motor.
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Wright Herschel E. (Gilroy CA), Rotor-protected evacuation port for centrifugal separation.
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Bolton Joseph A. (Glens Falls NY) Duncan Jeffrey B. (Argyle NY), Vacuum control system and method for dewatering fabrics.
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이 특허를 인용한 특허 (4)

Horo, Kaarlo; Kupiainen, Seppo, Control system for a vacuum pump used for removing liquid and a method of controlling said pump.
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Curry, Mark William; Greenbank, Daniel Paul; Lu, Danny Cam Toan, Speed control of variable speed pump.
상세보기
Losch, Wolfgang; Mueller, André, Vacuum pump system.
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Curry, Mark William; Greenbank, Daniel Paul; Lu, Danny Cam Toan, Variable speed pump control.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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