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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0910673 (1997-08-13) |
우선권정보 | JP-0223965 (1996-08-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 23 인용 특허 : 8 |
The invention provides a boat-type semiconductor wafer carrier which prevents such a situation that, upon wet processing of semiconductor wafers, the wafers carried thereon are displaced from grooves thereof and inclined until they fall down or contact with each other to break themselves or damage t
[ What is claimed is:] [1.] A semiconductor wafer carrier comprising, a boat type carrier having grooves for carrying a plurality of semiconductor wafers loaded in a parallel and aligned relationship with respect to each other, said wafer carrier being adapted to be moved by robot equipment from one
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