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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0242006 (1999-02-05) |
우선권정보 | DE-0032123 (1996-08-16) |
국제출원번호 | PCT/EP97/01183 (1997-03-08) |
§371/§102 date | 19990205 (19990205) |
국제공개번호 | WO-9806943 (1998-02-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 13 |
The invention relates to a cryopump having pump surfaces which are held at different temperatures during operation and are disposed in a housing with a flange for connecting the housing to a vacuum chamber. Additional pump surfaces are provided for the accumulation of easily condensable gases and im
[ What is claimed is:] [1.] A cryopump including a housing with a first flange for connecting the housing to a vacuum chamber, said cryopump comprising:a plurality of pump surfaces disposed within said housing that are held at different temperatures;at least one additional pump surface disposed outs
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