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Transistor and method for manufacturing the same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-029/76
  • H01L-029/22
출원번호 US-0707490 (1996-09-19)
우선권정보 JP-0041832 (1993-02-05)
발명자 / 주소
  • Kusumoto Naoto,JPX
출원인 / 주소
  • Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd., JPX
대리인 / 주소
    Sixbey, Friedman, Leedom & Ferguson, PCFerguson, Jr.
인용정보 피인용 횟수 : 13  인용 특허 : 11

초록

In a process for manufacturing a thin film transistor having a semiconductor layer constituting source and drain regions and a channel forming region, by the semiconductor layer being made thinner in the source and drain regions than in the channel forming region a structure is realized wherein, at

대표청구항

[ What is claimed is:] [1.] A transistor comprising:a semiconductor layer provided on a flat insulating surface and comprising a source region, a drain region, and a protrusion provided between said source region and said drain region, said protrusion comprising a channel;a gate electrode provided a

이 특허에 인용된 특허 (11)

  1. Dennard ; Robert H. ; Spampinato ; Dominic P., Field effect transistors and fabrication of integrated circuits containing the transistors.
  2. Yamazaki Shunpei (Tokyo JPX) Takemura Yasuhiko (Kanagawa JPX) Zhang Hongyong (Kanagawa JPX), Insulated gate field effect semiconductor devices having a LDD region and an anodic oxide film of a gate electrode.
  3. Boivin Philippe (11 ; Alle AndrMagnan 13770 Venelles FRX), Manufacturing process for an integrated circuit comprising double gate components.
  4. Shirato Takehide (Hiratsuka JPX) Ema Taiji (Kawasaki JPX), Method for fabricating an insulated-gate FET having a narrow channel width.
  5. Saito Naoto (Tokyo JPX) Aoki Kenji (Tokyo JPX) Akamine Tadao (Tokyo JPX) Kojima Yoshikazu (Tokyo JPX) Takahashi Kunihiro (Tokyo JPX) Kinbara Masahiko (Tokyo JPX), Method of producing field effect transistor.
  6. Culley Jeffrey L. (West Lafayette IN) Frazier Darrell E. (Kokomo IN) Frisch Anthony E. (Kokomo IN), NMOS driver circuit for CMOS circuitry.
  7. Naguib Hussein M. (Fremont CA) Calder Iain D. (Nepean CAX) Ho Vu Q. (Kanata CAX) Naem Abdalla A. (Ottawa CAX), Process of fabricating MOS devices having shallow source and drain junctions.
  8. Yamazaki Shunpei (Tokyo JPX) Takemura Yasuhiko (Kanagawa JPX) Seo Norihiko (Kanagawa JPX), Semiconductor device and method for forming the same.
  9. Yamazaki Shunpei,JPX ; Takemura Yasuhiko,JPX ; Seo Norihiko,JPX, Semiconductor device and method for forming the same.
  10. Sameshima Toshiyuki,JPX ; Hara Masaki,JPX ; Sano Naoki,JPX ; Gosain Dharam Pal,JPX ; Usui Setsuo,JPX, Semiconductor device having an improved thin film transistor.
  11. Gualandris Fabio (Bergamo ITX) Maggis Aldo (Vimercate ITX), Surface field effect transistor with depressed source and/or drain areas for ULSI integrated devices.

이 특허를 인용한 특허 (13)

  1. Yamazaki, Shunpei; Tanaka, Koichiro, Laser irradiation method, laser irradiation apparatus, and semiconductor device.
  2. Yamazaki, Shunpei; Tanaka, Koichiro, Laser irradiation method, laser irradiation apparatus, and semiconductor device.
  3. Yamazaki, Shunpei; Tanaka, Koichiro, Laser irradiation method, laser irradiation apparatus, and semiconductor device.
  4. Yamazaki,Shunpei; Tanaka,Koichiro, Laser irradiation method, laser irradiation apparatus, and semiconductor device.
  5. Yamazaki,Shunpei; Tanaka,Koichiro, Laser irradiation method, laser irradiation apparatus, and semiconductor device.
  6. Yamazaki, Shunpei; Koyama, Jun; Miyanaga, Akiharu; Fukunaga, Takeshi, Semiconductor thin film and method of manufacturing the same and semiconductor device and method of manufacturing the same.
  7. Yamazaki,Shunpei; Miyanaga,Akiharu; Koyama,Jun; Fukunaga,Takeshi, Static random access memory using thin film transistors.
  8. Yamazaki, Shunpei; Miyanaga, Akiharu; Koyama, Jun; Fukunaga, Takeshi, Thin film semiconductor device and its manufacturing method.
  9. Miyasaka, Mitsutoshi; Ogawa, Tetsuya; Tokioka, Hidetada; Satoh, Yukio; Inoue, Mitsuo; Sasagawa, Tomohiro, Thin film semiconductor device fabrication process.
  10. Kim,Dong Gyu, Thin film transistor-liquid crystal display and manufacturing method therefor.
  11. Kusumoto, Naoto, Transistor and method for manufacturing the same.
  12. Kusumoto,Naoto, Transistor and method for manufacturing the same.
  13. Kusumoto,Naoto, Transistor and method for manufacturing the same.
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