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국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) | F17C-013/00 |
미국특허분류(USC) | 620/507 ; 13/811.4 |
출원번호 | US-0150511 (1998-09-09) |
발명자 / 주소 | |
대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 25 인용 특허 : 17 |
A cryopump-type water-vapor removal system comprising a vacuum chamber for location within a device-fabrication cleanroom or other similar fabrication area, and a Meissner-type cryocoil for condensation of atmospheric water vapor in the atmosphere inside the chamber. A refrigerant compressor-evaporator is for location outside the device-fabrication cleanroom and is separated from the cryocoil by at least twenty feet. A refrigerant umbilical cord connects between and includes a flexible outer sheath providing for maintaining a thermal-insulation vacuum wi...
[ What is claimed is:] [1.] A vacuum-insulated refrigerant line, comprising:a non-collapsible flexible outer sheath for maintaining a thermal-insulation vacuum within;a vacuum manifold and end cap that are sealed to opposite ends of a flexible outer sheath, and each providing side-by-side discharge and suction tube connections, and further providing a vacuum-port for a vacuum-pump that generates said thermal-insulation vacuum;a flexible smooth-bore refrigerant discharge tube disposed in the flexible outer sheath and for providing a flow of refrigerant fr...