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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0928371 (1997-09-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 7 |
In a method and apparatus for producing a vapor which serves as a chemical processing material by delivering a carrier gas and a reactive liquid to a vaporizer in which the vapor is produced, the operating state of the vaporizer is monitored by measuring the pressure of the carrier gas being deliver
[ What is claimed is:] [1.] A method for producing vapor in a vaporizer having a determined maximum acceptable carrier gas pressure time rate of change for the pressure of the carrier gas provided to the vaporizer, the method comprising the steps of:(a) flowing a carrier gas through a flow control d
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