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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0174687 (1998-10-19) |
우선권정보 | JP-0153722 (1992-06-12) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 15 |
A semiconductor device is provided wherein carrier flows in a monocrystal silicon film having low oxygen concentration. As for a structure of the semiconductor device, a single semiconductor element or a plurality of semiconductor elements are provided on the monocrystal silicon film having low oxyg
[ What is claimed is:] [1.] A semiconductor integrated circuit device comprising: a supporting substrate; an insulating film formed on the supporting substrate; a monocrystalline silicon thin film disposed on the insulating film and comprising a monocrystalline silicon wafer having less than 1.times
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