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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0260191 (1999-03-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 15 인용 특허 : 25 |
A plasma immersion implantation system (100), including a network for controlling the system. The network communicates to the system by way of packets, which are used to pass signals to and from one of a plurality of controllers. The controllers are used to oversee one of a plurality of processing p
[ What is claimed is:] [1.] A plasma treatment system for implantation, said system comprising:a chamber in which a plasma is generated in said chamber;a susceptor disposed in said chamber, said susceptor being capable of holding a workpiece to be processed;a first control station coupled to a rf vo
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