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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0216035 (1998-12-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 78 인용 특허 : 24 |
A plasma treatment system (200) for implantation with a novel susceptor with a silicon coating (203). The system (200) has a variety of elements such as a chamber, which can have a silicon coating formed thereon, in which a plasma is generated in the chamber. The system (200) also has a susceptor di
[ What is claimed is:] [1.] A plasma treatment system for implantation, said system comprising:a vacuum chamber in which a plasma is generated in said chamber;a silicon coated susceptor disposed in said chamber to support a silicon substrate, said silicon coated susceptor providing fewer non-silicon
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