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특허 상세정보

Continuously fed single bubbler for epitaxial deposition of silicon

국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) C30B-023/00    B65B-001/30   
미국특허분류(USC) 11/7084 ; 11/708.6 ; 11/720.2 ; 11/872.6 ; 13/738.6 ; 14/108.3 ; 14/119.8 ; 22/205.8 ; 26/112.6
출원번호 US-0049537 (1998-03-27)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Flehr Hohbach Test Albritton & Herbert
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 8
초록

A delivery system and method for providing a gaseous chemical is provided. The system comprises a single bubbler 12 having a chamber 13 for containing a liquid chemical, at least one inlet tube 14 for providing a carrier gas to said chamber, and one outlet tube 16 for providing the gaseous chemical. A liquid chemical supply line 25 conveys the liquid chemical to said chamber. A bubbler is in contact with weight measuring device 24 for weighing the bubbler and generating an output signal responsive to the measured weight. A liquid chemical controller 20 i...

대표
청구항

[ What is claimed:] [1.] A delivery system for providing a gaseous chemical in semiconductor industry applications by bubbling a carrier gas through a liquid chemical, comprising:a single bubbler having a chamber for containing the liquid chemical, at least one inlet tube for providing a carrier gas to said chamber, and one outlet tube for providing the gaseous chemical;a liquid chemical supply line for conveying the liquid chemical to said chamber;a weight measuring device for weighing the bubbler and generating an output signal responsive to the measur...