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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0062298 (1998-04-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 113 |
An antifuse comprises a lower electrode formed from a metal layer in a microcircuit. A interlayer dielectric layer is disposed over the lower electrode and has an aperture formed therein. A conductive plug, formed from a material such as tungsten, is formed in the aperture. The upper surface of the
[ What is claimed is:] [1.] A method of forming an antifuse, said method comprising:forming a lower conductive layer;forming an interlayer dielectric layer over said lower conductive layer with an aperture communicating with said lower conductive layer;forming a conductive plug in said aperture, sai
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