최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0972224 (1997-11-17) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 187 인용 특허 : 13 |
A microelectro-mechanical device which includes a fixed electrode formed on a substrate, the fixed electrode including a transparent, high resistance layer, and a moveable electrode formed with an anisotropic stress in a predetermined direction and disposed adjacent the fixed electrode. The device i
[ What is claimed is:] [1.] A microelectro-mechanical device comprising:a fixed electrode formed on a substrate, said fixed electrode including an electrically conducting transparent, high resistance layer;a moveable electrode disposed adjacent said fixed electrode;first and second electrically cond
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.