최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0124799 (1998-07-29) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 7 인용 특허 : 8 |
Gas purification resins are encapsulated in deformable, permeable polymer sheaths to form purification rings, gaskets or seals. A primary source of contaminants in advanced vacuum processors equipped with vacuum load-lock systems and process gas purifiers is from the leakage of outside ambient conta
[ What is claimed is:] [1.] A seal for a chamber comprising:(a) an O-ring; and(b) a purification member disposed adjacent said O-ring for absorbing contaminants, wherein said purification member comprises:a material taken from the class of organometallic resins; anda contaminant permeable casing enc
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.