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특허 상세정보

Thermal detector with inter-digitated thin film electrodes and method

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) G01J-005/10   
미국특허분류(USC) 250/332 ; 250/338.2 ; 250/338.3 ; 250/338.4
출원번호 US-0919729 (1997-08-28)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
    Baker & Botts, L.L.P.
인용정보 피인용 횟수 : 13  인용 특허 : 6
초록

Thermal sensor (36) may include a thermally sensitive element (50), a first thin film electrode (52) and a second thin film electrode (54). The thermally sensitive element (50) may include a plurality of preferentially-ordered crystals. The first thin film electrode (52) may include a plurality of digits (53) in communication with the thermally sensitive element (50). The digits (53) of the first thin film electrode (52) may be in spaced relation with one another. The second thin film electrode (54) may include a plurality of digits (55) in communication...

대표
청구항

[ What is claimed is:] [1.] A thermal sensor to provide an image representative of the amount of thermal radiation incident to the thermal sensor, comprising:a substrate having a surface;a thermally sensitive element spaced above the surface of the substrate;a first thin film electrode including a plurality of spaced digits, the first thin film electrode being provided on a side of the thermally sensitive element opposite from the substrate;a second thin film electrode including a plurality of spaced digits, the second thin film electrode being provided ...

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 13

  1. Patience, Roy A.; Cunningham, Larry L.; Kroll, Ray D.; Cook, Lacy G.. Ambient-to-cold focus and alignment of cryogenic space sensors using uncooled auxillary detectors. USP2004126833547.
  2. D'Souza,Arvind I; Stapelbroek,Maryn G.; Dawson,Larry C.; Molyneux,Dale E.. Infrared radiation image having sub-pixelization and detector interdigitation. USP2008047351972.
  3. D'Souza, Arvind I; Stapelbroek, Maryn G; Dawson, Larry C; Molyneux, Dale E. Infrared radiation imager having sub-pixelization and detector interdigitation. USP2009087579594.
  4. Ito, Satoru; Wakamiya, Isamu. Infrared sensor. USP2003066580077.
  5. Cho, Seong Mok; Ryu, Ho Jun; Yang, Woo Seok; Cheon, Sang Hoon; Yu, Byoung Gon; Choi, Chang Auk. Infrared sensor and method of fabricating the same. USP2011118053730.
  6. Chen, Chung-Nan; Hsiao, Chien-Hua; Huang, Wen-Chie. Metallic silicide resistive thermal sensor and method for manufacturing the same. USP2013088519818.
  7. Jung, Sung-ouk; Jung, Myung-sup; Lee, Soo-suk. Method of manufacturing gas sensor. USP2012048147901.
  8. Tang, Jinyao; Wind, Samuel J.. Methods for fabricating nanoscale electrodes and uses thereof. USP2010117833904.
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  10. Gillham,John P; Watton,Rex; Alderman,John C. Micro-bridge structure. USP2006027002153.
  11. Yon,Jean Jacques; Astier,Astrid; Vilain,Michel. Thermal electromagnetic radiation detector comprising an absorbent membrane fixed in suspension. USP2007117294836.
  12. Hong, Hyungue; Nam, Sunghyun; Roh, Sookyoung; Park, Haeseok; Yun, Seokho. Thermal radiation sensor and thermal image capturing device including same. USP2016089429475.
  13. Stoupin, Stanislav; Shvydko, Yury; Katsoudas, John; Blank, Vladimir D.; Terentyev, Sergey A.. X-ray monitoring optical elements. USP2016129529098.