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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0275058 (1999-03-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 62 인용 특허 : 29 |
MEMS (Microelectromechanical System) structures are provided that are designed to rotate in response to thermal actuation or the like. In one embodiment, the MEMS rotary structure includes a hub having one or more radial spoke members that impose a rotational force upon the hub in response to applie
[ That which is claimed:] [1.] A microelectromechanical rotary structure comprising:a microelectronic substrate;a hub disposed upon a surface of said microelectronic substrate, said hub defining a central axis extending therethrough; andat least two hub spoke members extending outwardly from said hu
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