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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0072905 (1998-05-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 144 인용 특허 : 22 |
This invention provides an improved porous structure for semiconductor devices and a process for making the same. This process may be applied to an existing porous structure 28, which may be deposited, for example, between patterned conductors 24. The method may comprise providing a substrate compri
[ What is claimed is:] [9.] A method of modifying a porous dielectric on a semiconductor device comprising:providing a substrate comprising a microelectronic circuit and a porous silica layer, said porous silica layer having an average pore diameter between 2 and 80 nm;placing said substrate in an p
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