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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0214894 (1999-01-14) |
우선권정보 | JP0224450 (1997-08-07) |
국제출원번호 | PCT/EP98/02965 (1998-05-20) |
§371/§102 date | 19990114 (19990114) |
국제공개번호 | WO-9852879 (1998-11-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 24 인용 특허 : 7 |
An object of the present invention is to provide a synthetic silica glass optical material which exhibits excellent transmittance as well as durability for high output power vacuum ultraviolet rays, being emitted from, for example, ArF excimer lasers and Xe.sub.2 excimer lamps, and to provide a meth
[ What is claimed is:] [1.] A synthetic silica glass optical material for use with ultraviolet rays in the wavelength region from 165 to 195 nm, made from ultra-high purity synthetic silica glass, containing OH groups at a concentration of from 5 to 300 wtppm with a fluctuation in OH-group concentra
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