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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0095425 (1998-06-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 55 |
AC waveforms biasing of bead transporter chucks and their accumulated charge sensing circuits tailored for low resistivity substrates and beads where if traditional DC quasi-static biasing potentials were used, the bead attraction potentials of the chuck would undergo rapid RC decay and cause the be
[ What is claimed:] [12.] A method for adhering charged trains to a bead collection zone on a bead contact surface comprising:(1) adhering a substrate with a resistivity below 10.sup.11 .OMEGA.-cm to an electrostatic chuck, with the substrate arrayed over a grain-attracting electrode of the electros
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