[특허]Piezoresistive sensor bridge having overlapping diffused regions to accommodate mask misalignment and method

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Piezoresistive sensor bridge having overlapping diffused regions to accommodate mask misalignment and method 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01L-001/22
출원번호	US-0395228 (1995-02-27)
발명자 / 주소	Meyer Brian D. Baskett Ira E.
출원인 / 주소	Motorola, Inc.
대리인 / 주소	Huffman
인용정보	피인용 횟수 : 12 인용 특허 : 4

초록 ▼

A piezoresistive pressure sensor (30) has four resistive diffused regions (32) coupled into a bridge configuration (33) with four junctions (36) and four inside corners (40). Each of the diffused regions has a first end connected to one of the four junctions and a second end connected to a different one of the four junctions. There are four contact diffusion terminals (34) disposed in contact with the bridge configuration, and each of the diffusion terminals is disposed at one of the four junctions such that the diffused regions are electrically connected essentially only by the contact diffusion terminals and an overlap (44, 46) is provided between each of the diffusion terminals and the inside corners to accommodate mask misalignment during manufacture. Thus, no tap is required to electrically connect the contact diffusion terminals to the resistive diffused regions of the bridge, which results in increased sensor sensitivity.

대표청구항 ▼

[ What is claimed is:] [1.] A piezoresistive sensor comprising:a first diffusion resistor and a second diffusion resistor connected to provide an inside corner; anda diffusion terminal in contact with both said first diffusion resistor and said second diffusion resistor, wherein said first diffusion resistor and said second diffusion resistor are in conductive contact essentially only through said diffusion terminal and said diffusion terminal forms and overlap with said inside corner.

이 특허에 인용된 특허 (4)

Murakami Koichi (Yokosuka JPX), Acceleration sensor for use in automotive vehicle.
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Burger Kurt (Friolzheim DEX) Gruner Heiko (Gerlingen DEX), Method of making a thin-film strain gauge.
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Tominaga Tamotsu (Yokohama JPX) Mihara Teruyoshi (Yokohama JPX) Oguro Takeshi (Yokosuka JPX) Takeuchi Masami (Kokubunji JPX), Pressure sensor.
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Sato Teruhiro (Yokohama) Wada Tomio (Yokohama JPX), Trimmed resistor.
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이 특허를 인용한 특허 (12)

Yang, Bingrui; Grunthaner, Martin P.; Hotelling, Steven P., Electronic device with noise-cancelling force sensor.
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Minami, Masayoshi; Sawai, Tsutomu, Force detector.
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Belman, Michael, Four-terminal resistor with four resistors and adjustable temperature coefficient of resistance.
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Clifford, Mark J., Independent-excitation cross-coupled differential-pressure transducer.
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Thei,Kong Beng; Lin,Chih Hsien; Wong,Shyh Chyi, Layout and method to improve mixed-mode resistor performance.
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Nakasone,Hirokazu; Ide,Yasutaka; Tohyama,Shuji, Load sensor.
상세보기
Yang Lung-Jieh,TWX ; Chang Yih-Min,TWX, Manufacturing method for the miniaturization of silicon bulk-machined pressure sensors.
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Yokoyama, Shinya; Aoki, Daigo; Takashima, Yutaka, Piezoresistive pressure sensor.
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Schlafhauser, Joseph Karl, Rivet setting machine.
상세보기
Mauer, Dieter; Roeser, Hermann; Opper, Reinhold; Wojcik, Andreas; Schoenig, Christian, Riveting system and process for forming a riveted joint.
상세보기
Mauer, Dieter; Roeser, Hermann; Opper, Reinhold; Wojcik, Andreas; Schoenig, Christian, Riveting system and process for forming a riveted joint.
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Mauer, Dieter; Roeser, Hermann; Opper, Reinhold; Wojcik, Andreas; Schoenig, Christian, Riveting system and process for forming a riveted joint.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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