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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0229721 (1999-01-13) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 23 |
A cryopump including a radiation shield having an interior surrounded by at least one wall. The radiation shield has an opening through which gases are cryopumped into the interior. A frontal cryopanel array is positioned near the opening for condensing high boiling point gases. The radiation shield
[ What is claimed is:] [1.] A cryopump comprising:a radiation shield having an interior surrounded by at least one wall, the radiation shield having an opening through which gases are cryopumped into the interior;a frontal cryopanel array positioned near the opening for condensing high boiling point
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